Преимущества данной компоновки выходят далеко за рамки производительности любой другой колонны. И тот и другой метод служит для формирования пучка в тонкий зонд для получения изображения при низких ускоряющих напряжениях и направления детектируемых электронов обратно через линзу в колонну.
За счет комбинации магнитной и электростатической иммерсии в одной электронной пушке достигается более высокая разрешающая способность и добавляются уникальные возможности для фильтрации сигнала. Комбинированная электростатически-магнитная конечная линза обеспечивает разрешение 1,0 нм при 1 кВ (без активации функции замедления пучка или монохроматора).
Особенности
- Электронная колонна высокого разрешения с полевой эмиссией Шоттки, включает:1. Высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью
2. Комбинированная конечная линза: сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы.
3. Угол объективной линзы в 60°: позволяет наклонять большие образцы
- Автоматически очищаемые за счет подогрева диафрагмы обеспечивают стабильную работу
- Дифференциальная откачка через линзу для низкого вакуума уменьшает расщепление пучка электронов, что увеличивает точность анализа и разрешающую способность.
- Функция замедления пучка с диапазоном от -4000 В до +600 В
- Непрерывный контроль тока пучка и оптимизированный угол раскрытия конечной линзы
- Двухступенчатая технология отклонения пучка
- Простота в установке и настройке пушки, техническое обслуживание – авто отжиг пушки, авто старт, отсутствуют механических юстировок.
- Гарантированное время жизни источника: 12 месяцев.
Управление системой
- 64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7, клавиатура, оптическая мышь- 24-дюймовый ЖК-монитор, WUXGA 1920 x 1200 (второй монитор – опция
- Настраиваемый графический интерфейс с возможностью выбора до 4-х одновременно активных окон
- Регистрация изображения
- Встроенная навигация
- Программное обеспечение для анализа изображения
- Функция отмены и повтора (после отмены) действия
- Гид пользователя для простых операций/приложений
- Джойстик (опционально)
- Многофункциональное контрольное устройство управления (опционально)
Получение изображений
- Время получения изображения 0,025 – 25000 мкс/пикс.- Размер до 6144 х 4096 пикс.
- Тип файла: TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG
- Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах
- Технология сканирования SmartSCAN (до 256 интегрированных изображений в одном)
- DCFI (компенсация дрейфа)