Технология Elstar™ FESEM обеспечивает наилучшую детализацию в нанометровом диапазоне в самых разных рабочих режимах: точность значительно ниже 1 нм достигается как при 30 кВ в режиме STEM для получения информации о структуре, так и при 500 В для беззарядного получения детальных данных о поверхности.
Предусмотрена тройная система детектирования внутри колонны и режим иммерсии, которые могут использоваться одновременно для формирования изображений SE и BSE (вторичных и обратноотражённых электронов) в зависимости от угла и энергии пучка.
Особенности
FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
- Электронная пушка Elstar, в том числе: термополевой эмиттер Шоттки, возможность переключения между режимами без нарушения вакуума, технология UC (монохроматор)
- Диапазон энергии пучка у поверхности образца 20 В – 30 кВ
- 60° объектив с двумя линзами с защитой полюсного наконечника
- Нагреваемые апертуры объектива
- Электростатическое сканирование
- Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
- Торможение пучка с подачей потенциала на предметный столик от 0 В до –4 кВ
- Интегрированная функция быстрого гашения (бланкера) пучка*
Ионная колонна Tomahawk
- Превосходные характеристики при работе на высоком токе с макс. током пучка до 65 нА
- Диапазон ускоряющего напряжения 500 В – 30 кВ
- Двухступенчатая дифференциальная откачка.
- Времяпролётная коррекция (TOF)
- 15 апертур
Срок службы источника
- Срок службы источника электронов: 12 месяцев
- Срок службы источника ионов: гарантия 1000 часов
Разрешение ионного пучка в точке пересечения
- 4,0 нм при 30 кВ с использованием предпочтительного статистического метода
- 2,5 нм при 30 кВ с использованием
Максимальная ширина горизонтального поля
- Электронный пучок: 2,3 мм в точке совпадения пучка (рабочее расстояние 4 мм)
- Ионный пучок: 0,9 мм при 8 кВ в точке совпадения пучка
Ток зонда
- Электронный пучок: от 0,8 пA до 22 нА (CX); от 0,8 пA до 100 нА (UC);
- Ионный пучок: 0,1 пA – 65 нA (апертурная полоса с 15 положениями)