Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения.
Его непревзойденная работа при низких ускоряющих напряжениях обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов.
Максимальная разрешающая способность достигает 0.6 нм.
Микроскоп Verios абсолютно незаменим при производстве полупроводников и устройств хранения данных.
Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано узлами, что превращает его в комплексное решение для теоретических исследований, управления технологическими процессами, создания материалов, задач фрактографии, анализа дефектов.
Особенности
- FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения- Электронная пушка Elstar, в том числе термополевой эмиттер Шоттки, возможность замены без прерывания работы, технология UC (монохроматор)
- двойная объективная линза с углом 60° с защитой полюсного наконечника
- Нагреваемые апертуры объектива
- Электростатическое сканирование
- Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
- Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
- Интегрированная функция быстрого гашения пучка*